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直線度可達10um

X軸***6m Y軸0.5m行程

以線性滑軌架構之定位平臺

良好接地設計防止雜訊干擾

Z向震動可達奈米等級以下

***速度可達5m/s

標準重現精度1um或以下

位置回饋系統解析度***可達50nm

應用：

半導體設備

自動化搬送

FPD設備

太陽能製造設備

PCB設備

水刀設備

鑽石切割產業

AOI檢測設備

工具機

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主要銷售HIWIN集團產品：直線導軌、滾珠絲杠、KK模組、直線電機、線性致動器（電動推桿）、位置測量系統（磁珊）、旋轉DD馬達、AC伺服、工業機器人等

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